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Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Microdischarge integration on silicon based devices

Domaines

Plasmas
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01686038 , version 1 (16-01-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01686038 , version 1

Citer

Rémi Dussart, Remi Dussart. Microdischarge integration on silicon based devices . 70th Gaseous Electronics Conference, Nov 2017, Pittsburgh, United States. ⟨hal-01686038⟩
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