Procédé d'obtention chimique d'une structure piézoélectrique flexible

Abstract : L'invention porte sur un procédé d'obtention d'une structure piézoélectrique (150) élastiquement flexible, caractérisé en ce que ses étapes consistent : à déposer une couche mince (110) piézoélectrique sur un substrat sacrificiel (100) métallique sensible à la gravure chimique ; à déposer une couche de support (130) polymère élastiquement flexible sur la couche mince piézoélectrique, à graver sélectivement et chimiquement ledit substrat sacrificiel métallique pour obtenir une structure piézoélectrique élastiquement flexible comprenant la couche mince piézoélectrique et la couche de support polymère élastiquement flexible servant de substrat permanent (140) de ladite structure.
Type de document :
Brevet
France, N° de brevet: WO2017178501 (A1). 2017, https://bases-brevets.inpi.fr/fr/document/WO2017178501.html?s=1513845051856&p=6&cHash=fbcea42bdf92dd55bac231bdc5bfb53c
Liste complète des métadonnées

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01670132
Contributeur : Sandrine Charlier <>
Soumis le : jeudi 21 décembre 2017 - 10:23:06
Dernière modification le : mercredi 16 mai 2018 - 11:23:50

Identifiants

  • HAL Id : hal-01670132, version 1

Citation

Thibault Dufay, Stéphane Ginestar, Raynald Seveno, Benoit Guiffard. Procédé d'obtention chimique d'une structure piézoélectrique flexible. France, N° de brevet: WO2017178501 (A1). 2017, https://bases-brevets.inpi.fr/fr/document/WO2017178501.html?s=1513845051856&p=6&cHash=fbcea42bdf92dd55bac231bdc5bfb53c. 〈hal-01670132〉

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