Détection des états de surface à l’interface Si/SiO2 par balayages successifs en mode SSRM

Rosine Coq Germanicus (1, 2) , P. Leclère (3) , Yannick Guhel (4) , B. Boudart (4) , Philippe Descamps (1, 2) , Eric Hug (2) , P Eyben (5)

1 LaMIPS - Laboratoire de Microélectronique et de Physique des Semiconducteurs
2 CRISMAT - Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux
3 UMons - Université de Mons
4 LUSAC - Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg
5 IMEC - IMEC

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Rosine Coq Germanicus, P. Leclère, Yannick Guhel, B. Boudart, Philippe Descamps, et al.. Détection des états de surface à l’interface Si/SiO2 par balayages successifs en mode SSRM. 19e Forum des microscopies à sonde locale, 2016, Sochaux, France. ⟨hal-01654277⟩