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Poster De Conférence Année : 2017

INCREASE OF THE NICKEL TARGET TEMPERATURE IN MAGNETRON SPUTTERING

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amael caillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01634840

Soumis le : mardi 14 novembre 2017-14:25:35

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01634840 , version 1 (14-11-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01634840 , version 1

Citer

Amael Caillard, El Mokh Mariem, Thomas Lecas, Anne Lise Thomann. INCREASE OF THE NICKEL TARGET TEMPERATURE IN MAGNETRON SPUTTERING. Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micronanofabrication, (JNTE 2017), Nov 2017, Orléans, France. ⟨hal-01634840⟩

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