Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation.

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Contributor : Gaëlle Georges <>
Submitted on : Tuesday, October 24, 2017 - 2:32:37 PM
Last modification on : Monday, March 4, 2019 - 2:04:24 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01622523, version 1

Citation

Sophia Bourzgui, Emilie Faivre, Jacques Pinaton, Gaëlle Georges, Agnès Roussy, et al.. Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation.. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM), May 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01622523⟩

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