MEMS Scanning Calorimeter With Serpentine-Shaped Platinum Resistors for Characterizations of Microsamples

S. Youssef (1) , J. Podlecki (2, 3) , R. Al Asmar , B. Sorli (2, 3) , O. Cyril , A. Foucaran (2, 4)

1 Unité de Recherche de Physique des Solides [Monastir]
2 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
3 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
4 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique

Domaines: Electronique

S. Youssef, J. Podlecki, R. Al Asmar, B. Sorli, O. Cyril, et al.. MEMS Scanning Calorimeter With Serpentine-Shaped Platinum Resistors for Characterizations of Microsamples. Journal of Microelectromechanical Systems, 2009, 18 (2), pp.414 - 423. ⟨10.1109/JMEMS.2009.2013392⟩. ⟨hal-01614837⟩