Ba1−xSrxTiO3 (x =0.4) nanoparticles dispersion for 3D integration of decoupling capacitors on glass interposer

E. Tetsi (1, 2) , Gilles Philippot (3) , I. Bord Majek , Cyril Aymonier (3) , J. Audet (4) , L. Bechou (1) , D. Drouin (4, 2, 5)

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
3 ICMCB - Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux
4 UdeS - Université de Sherbrooke
5 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

E. Tetsi, Gilles Philippot, I. Bord Majek, Cyril Aymonier, J. Audet, et al.. Ba1−xSrxTiO3 (x =0.4) nanoparticles dispersion for 3D integration of decoupling capacitors on glass interposer. 2016 6th Electronic System-Integration Technology Conference (ESTC), Sep 2016, Grenoble, France. pp.1-9, ⟨10.1109/ESTC.2016.7764520⟩. ⟨hal-02074288⟩