Titanium microstructuring for implantable components

Edouard Laudrel (1) , Thomas Tillocher (1) , Yannick Méric (1) , Philippe Lefaucheux (1) , Marion Woytasik (2) , Fabrice Michel (3) , Baptiste Rousset (2) , Bertrand Boutaud (4) , Hadrien Philippe (2) , Michel Robert (3) , Elie Lefeuvre (2) , Remi Dussart (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Orsay]
3 VEGATEC
4 MISTIC SAS

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Edouard Laudrel, Thomas Tillocher, Yannick Méric, Philippe Lefaucheux, Marion Woytasik, et al.. Titanium microstructuring for implantable components. Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, May 2017, Bordeaux, France. ⟨hal-01561245⟩