Poster De Conférence
Année : 2017
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01561233
Soumis le : mercredi 12 juillet 2017-15:18:00
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:04
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01561233 , version 1
Citer
Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Mohamed Boufnichel, Remi Dussart. Silicon micromachining at cryogenic temperature. Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2017 (DTIP17), May 2017, Bordeaux, France. ⟨hal-01561233⟩
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