Conception et réalisation d’un micro-psychromètre thermoélectrique basé sur une structure polymère SU-8
Résumé
In this paper, a new approach to designing micro-psychrometers devoted to measuring relative humidity is presented. Besides being far less invasive than standard units, considering classical psychrometers, the new design enable fast measurements ( = 5s). These new sensors, fabricated according to standard microtechnology processes for MEMs, are based on a planar thermopile fitted with an appropriate set of microchannels arranged for monitoring the evaporation process as a Seebeck voltage. A prototype is calibrated and compared to a reference probe, and a brief discussion on its enhancement is also presented.
Un nouveau microsystème est présenté destiné à la mesure de l'humidité relative. Partant du principe classique des mesures psychrométriques, la miniaturisation d'une structure basée sur l'effet thermoélectrique de Seebeck conduit à l'obtention d'un capteur actif rapide présentant un faible caractère invasif vis à vis des psychromètres classiques. Les prototypes sont développés à l'aide des process conventionnels des microtechnologies, avec l'intérêt potentiel d'une fabrication collective. L’association d'un polymère photo-imageable et d'une thermopile planaire, permet l'exploitation du signal représentatif de l'écart thermique psychrométrique sous la forme d'une simple tension Seebeck. A cet effet, la thermopile est recouverte d'un réseau de micro canaux distribué sur les jonctions sensibles de la chaîne thermoélectrique. Après présentation d'un modèle simple d'exploitation du signal, les performances de l'un des prototypes réalisés sont décrites au regard de l'état actuel de la technique.
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)