Study of the surface fluorination of SU-8 polymer film through RF plasma treatment and its application to passive optical waveguide - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Study of the surface fluorination of SU-8 polymer film through RF plasma treatment and its application to passive optical waveguide

Domaines

Optique / photonique Micro et nanotechnologies/Microélectronique Plasmas

Bruno Bêche  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01552409

Soumis le : dimanche 2 juillet 2017-18:44:52

Dernière modification le : lundi 15 avril 2024-11:25:23

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Dates et versions

hal-01552409 , version 1 (02-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01552409 , version 1

Citer

Aissam Airoudj, Dominique Debarnot, Bruno Bêche, Fabienne Poncin-Epaillard. Study of the surface fluorination of SU-8 polymer film through RF plasma treatment and its application to passive optical waveguide. 6th International Workshop on Fluorocarbon Plasmas, 2006, Grenoble, France. ⟨hal-01552409⟩

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