Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300

Quentin Gravelier (1) , Alexandre Arnoult (1) , Guy Lacoste (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Dans la notice qui suit, nous allons présenter de manière détaillé la procédure à suivre afin de de d’introduire un molybloc, depuis l’extérieur, dans la chambre d’introduction des réacteurs MBE32 et MBE2300 au LAAS-CNRS. Ce document sert d’appuis au personnel formateur pour la formation à l’utilisation autonomes des réacteurs.

Domaines: Optique / photonique; Agrégats Moléculaires et Atomiques [physics.atm-clus]; Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste. Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300 . [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17205, LAAS-CNRS. 2017, 10p. ⟨hal-01542690v1⟩