Micro-usinage par impulsions laser ultra-courtes
Résumé
Ce travail présente des résultats de micro-usinage femtoseconde, utilisant une chaine Ti-saphir à 1 KHz. Le cas des métaux est particulièrement envisagé et les taux d ablation par tir est déterminé dans le cas du cuivre (48 nm/tir) et de l inox (29 nm/tir). L utilisation d impulsions ultra-courtes (de 1 ordre de quelques dizaines de femtosecondes) ouvre de nombreuses perspectives a la fois industrielles et scientifiques. En particulier, pour le micro usinage, il est possible d atteindre en mode femtoseconde le seuil d ablation de tous les types de materiaux. On peut citer les metaux speciaux et ceramiques utilises en milieu medical, les ceramiques piezo-electriques, le silicium et les materiaux organiques pour la micro-electronique par exemple, ainsi que les materiaux pour la micro-mecanique, etc. L usinage est alors tres precis (de 1 ordre du micron et meme inferieur), sans bavures et avec une ZAT (Zone Affectee Thermiquement) tres reduite.