Procédé de fabrication d'un micro-générateur mécano-électrique flexible et micro-générateur correspondant

Raynald Seveno (1) , Benoit Guiffard (1) , Thibault Dufay (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Il est proposé un procédé de fabrication d'un micro-générateur mécano-électrique , comprenant les étapes suivantes : - dépôt (200), sur un substrat mince électriquement conducteur formant une électrode inférieure, d'une couche mince de matériau piézoélectrique, dite couche active ; - dépôt (220), sur la couche active, d'une couche mince de matériau électriquement conducteur formant une électrode supérieure, de façon à former une structure de base en couches minces ; - encapsulation (230) de ladite structure de base dans une couche de revêtement mince à base d'au moins un matériau polymère élastiquement déformable.

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Physique [physics]

Raynald Seveno, Benoit Guiffard, Thibault Dufay. Procédé de fabrication d'un micro-générateur mécano-électrique flexible et micro-générateur correspondant. France, N° de brevet: FR3033552. 2016, pp.(A1)16/09/2016 (BOPI 2016-37), W02016142542 (A1)15/09/2016. ⟨hal-01396384⟩