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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Cryogenic processes for advanced material plasma etching

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01374747 , version 1 (01-10-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01374747 , version 1

Citer

Remi Dussart, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux. Cryogenic processes for advanced material plasma etching . Quo vadis : Complex plasmas - TR 24, Aug 2016, Hambourg, Germany. ⟨hal-01374747⟩
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