Influence of plasma treatments and Sn incorporation on Ga2O3 properties

Alban Maertens (1) , Samuel Margueron (1) , Frédéric Genty (1) , Adulfas Abrutis (2) , Thierry Belmonte (3) , Pascal Boulet (3) , Jaafar Ghanbaja (3) , Abdelkrim Talbi (4) , Ausrine Bartasyte (5)

1 LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes
2 Department of General and Inorganic Chemistry
3 IJL - Institut Jean Lamour
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)

Domaines: Matériaux

Alban Maertens, Samuel Margueron, Frédéric Genty, Adulfas Abrutis, Thierry Belmonte, et al.. Influence of plasma treatments and Sn incorporation on Ga2O3 properties. E-MRS fall meeting 2016, Sep 2016, Varsovie, Poland. ⟨hal-01371975⟩