Transformateur planaire intégré à couches magnétiques : Conception et réalisation
Résumé
Dans cet article nous présentons la conception, le
dimensionnement et la fabrication de transformateurs intégrés
à couches magnétiques. Le transformateur est constitué de
deux inductances face à face séparées par un isolant. Le
logiciel HFSS a été utilisé d’une part pour effectuer le choix de
la structure et d’autre part pour dimensionner le composant.
La réalisation de ce transformateur fait appel aux techniques
de la microélectronique : préparation du substrat, dépôt de
couches minces, photolithographie, gravure humide … Les
connexions entre le plot central et les bornes extérieures sont
réalisées au moyen d’un via horizontal (air-bridge) dont on
décrira les principales étapes de réalisation
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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