Iridium bottom electrodes for tunable microwave components

Lucian Trupina (1) , Liviu Nedelcu (1) , Gabriel Banciu (1) , Constantin C. Negrila (1) , Mohamad Rammal (2, 3) , Areski Ghalem (2, 3) , Laure Huitema (2) , Aurelian Crunteanu (3) , Valérie Madrangeas (3) , Damien Passerieux (4) , Dominique Cros (3) , Thierry Monédière (2) , Perrine Dutheil (5) , Corinne Champeaux (5) , Frédéric Dumas-Bouchiat (5) , Pascal Marchet (6)

1 National Institute for Materials Physics - NIMP (ROMANIA)
2 XLIM-SRF - Systèmes RF
3 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie
4 XLIM - XLIM
5 Axe 2 : procédés de traitements de surface
6 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Electromagnétisme

Lucian Trupina, Liviu Nedelcu, Gabriel Banciu, Constantin C. Negrila, Mohamad Rammal, et al.. Iridium bottom electrodes for tunable microwave components. Electroceramics XV, Limoges, France, 27-29 Juin 2016, Jun 2016, Limoges, France. ⟨hal-01343910⟩