Conception et simulation d’un micro-capteur à ondes de Love par éléments finis

Hamida Hallil (1) , Prince Bahoumina (1) , Ollivier Tamarin (2) , Corinne Dejous (1) , Dominique Rebière (1)

1 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
2 UMR 228 Espace-Dev, Espace pour le développement

Cette communication présente un tutoriel proposé à des étudiants stagiaires de licences professionnelles ou masters relevant des nanosciences. Il s’agit de modéliser et de simuler un capteur à onde de Love en 3D, pour la détection in-situ de particules chimiques ou biologiques dans un milieu gazeux ou liquide. Les étudiants sont ainsi initiés à la fois à la modélisation d’un capteur dans un environnement à éléments finis, à la modélisation de son environnement de travail et ainsi qu’à son application pour la détection d’espèces gazeuses et son utilisation en milieu liquide pour des applications environnementales.

Mots clés: Modélisation d’un capteur de gaz / micro-capteur à onde acoustique / SAW / COVs / PDMS

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Hamida Hallil, Prince Bahoumina, Ollivier Tamarin, Corinne Dejous, Dominique Rebière. Conception et simulation d’un micro-capteur à ondes de Love par éléments finis. JPCNFM 2014 – 13e journées pédagogiques du CNFM (Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies), Coordination nationale pour la formation en micro-électronique et en nanotechnologies, Nov 2014, Saint Malo, France. pp.2006, ⟨10.1051/j3ea/2015018⟩. ⟨hal-01308519⟩