Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Anne-Lise THOMANN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01290681
Soumis le : vendredi 18 mars 2016-12:39:55
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01290681 , version 1
Citer
El Mokh Mariem, Amaël Caillard, Thomas Lecas, Nadjib Semmar, Anne-Lise Thomann. Hot target magnetron sputtering: the influence of the magnetron target temperature on the sputtering process . 20th international Colloquium on Plasma Processes CIP2015 , Jun 2015, Saint Etienne, France. ⟨hal-01290681⟩
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