Etude d’une source Rf-ICP pour l’implantation He/W

Lucile Pentecoste (1) , Anne-Lise Thomann (1) , Pierre Desgardin (2) , Amer Melhem (1) , Tayeb Belhabib (2) , Amaël Caillard (1) , P. Brault (1) , Stéphane Cuynet (1) , Thomas Lecas (1) , Marie-France Barthe (2)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 CEMHTI - Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation

Domaines: Matériaux

Lucile Pentecoste, Anne-Lise Thomann, Pierre Desgardin, Amer Melhem, Tayeb Belhabib, et al.. Etude d’une source Rf-ICP pour l’implantation He/W. 11èmes journées d’échange du réseau CNRS Plasmas Froids, Oct 2013, La Rochelle, France. ⟨hal-01289414⟩