Détermination de l'énergie transférée aux surfaces lors de la modification de matériaux par procédés plasmas basse pression

Pierre-Antoine Cormier (1) , Anne-Lise Thomann (1) , Nadjib Semmar (1) , Remi Dussart (1) , Dolique Vincent (1) , Thomas Lecas (1) , Stephanos Konstantinidis (2) , Balharmi A. (2) , Rony Snyders (2, 3)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 ChIPS - Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS)
3 MNRC - Materia Nova Research Center

Domaines: Matériaux

Pierre-Antoine Cormier, Anne-Lise Thomann, Nadjib Semmar, Remi Dussart, Dolique Vincent, et al.. Détermination de l'énergie transférée aux surfaces lors de la modification de matériaux par procédés plasmas basse pression. 12ème congrès de la division plasma de la SFP , May 2012, Orléans, France. ⟨hal-01288927⟩