DRY DEEP ETCHING OF BULK TITANIUM BY PLASMA PROCESSES - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01228465 , version 1 (13-11-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01228465 , version 1

Citer

Edouard Laudrel, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Bertrand Boutaud, Remi Dussart. DRY DEEP ETCHING OF BULK TITANIUM BY PLASMA PROCESSES . AVS 62nd International Symposium & Exhibition, Oct 2015, San Jose, United States. ⟨hal-01228465⟩
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