Mise en oeuvre de transistors à base de nanoils de silicium. Applications à la détection de l'hybridation d'ADN
Résumé
L’objectif de ces travaux de thèse est de réaliser des nanofils en silicium polycrsitallin par la méthode des espaceurs (voie « Top Down »). Les nanofils ainsi fabriqués sont intégrés dans la fabrication de transistors à effet de champ. Ces transistors sont ensuite fonctionnalisés afin de permettre la détection d’espèces biologiques.