Propriétés mécaniques des couches minces par nanoindentation
Résumé
Comment caractériser la dureté d’un matériau ? L’indentation instrumentée permet l’étude du matériau aux échelles nano, micro ou macrométriques. Pour accéder aux propriétés mécaniques des couches minces, on fait souvent appel à la nanoindentation pensant résoudre tous les problèmes liés à l’infl uence du substrat dans la mesure des propriétés mécaniques.