Elaboration et caractérisation de couches minces de Ba0,8Sr0,2TiO3 dopé au manganèse pour réseaux réflecteurs

Caroline Borderon (1) , Kevin Nadaud (1) , Raphaël Renoud (1) , Sabrina Pavy (1) , Hartmut Gundel (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Des couches minces de Ba0,8Sr0,2TiO3 (BST) dopé au manganèse ont été réalisées par voie chimique (Chemical Solution Deposition (CSD)) sur un substrat isolant d'alumine. Pour connaître le taux optimum de dopant à in-sérer selon la densité de défaut dans le matériau, le dopage de BST a été effectué par pas de 0,5% pour des taux de do-pant allant de 0% à 2%. Les caractéristiques diélectriques du matériau ont été étudiées en fonction de la teneur en manganèse pour une gamme de fréquences allant de 100 Hz à 5 GHz. Une spectroscopie diélectrique a également été effectuée afin de comprendre le rôle du dopant dans le matériau.

Mots clés: Matériau ferroélectrique; Couches minces; dopage; hyperfréquence

Domaines: Matériaux; Physique [physics]; Matière Condensée [cond-mat]; Sciences de l'ingénieur [physics]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Caroline Borderon, Kevin Nadaud, Raphaël Renoud, Sabrina Pavy, Hartmut Gundel. Elaboration et caractérisation de couches minces de Ba0,8Sr0,2TiO3 dopé au manganèse pour réseaux réflecteurs. 13ième Journées de Caractérisation Microondes et Matéraiux - JCMM 2014, Mar 2014, Nantes, France. ⟨hal-01091853⟩