Sheet resistance measurement on AlGaN/GaN wafers and dispersion study

J. Lehmann (1, 2) , Cédric Leroux (3) , M. Charles , A. Torres (4) , E. Morvan (4) , D. Blachier , G. Ghibaudo (5) , E. Bano (5) , G. Reimbold

1 IPGS - Institut de physique du globe de Strasbourg
2 EOST - Ecole et Observatoire des Sciences de la Terre
3 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

J. Lehmann, Cédric Leroux, M. Charles, A. Torres, E. Morvan, et al.. Sheet resistance measurement on AlGaN/GaN wafers and dispersion study. INFOS 2013, Jun 2013, Cracow, Poland. pp.P.14. ⟨hal-01074271⟩