"Electrical Characterization of Millimeter-Wave Interconnects on Low-k and Low-loss Oxides for Advanced 3D Silicon Interposers"

B. Reig , P. Renaux (1) , D. Mercier (1) , C. Mounet , H. Sibuet , C. Ferrandon , S. Joblot , P. Bar , P. Coudrain , J. Carpentier , B. Flechet (2) , T. Lacrevaz (2)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

B. Reig, P. Renaux, D. Mercier, C. Mounet, H. Sibuet, et al.. "Electrical Characterization of Millimeter-Wave Interconnects on Low-k and Low-loss Oxides for Advanced 3D Silicon Interposers". European Microwave Conference (EuMC 2011), Oct 2011, Manchester, United Kingdom. ⟨hal-01072987⟩