Optimisation of PVDF-TrFE film processing for organic MEMS resonators and application to water droplets drying study - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Optimisation of PVDF-TrFE film processing for organic MEMS resonators and application to water droplets drying study

Pierre-Henri Ducrot
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 960348
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Isabelle Dufour
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Cédric Ayela
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01068125

Soumis le : jeudi 25 septembre 2014-09:34:49

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01068125 , version 1 (25-09-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01068125 , version 1

Citer

Pierre-Henri Ducrot, Isabelle Dufour, Cédric Ayela. Optimisation of PVDF-TrFE film processing for organic MEMS resonators and application to water droplets drying study. Conference Piezoelectric Micro and Nano Structures and their Applications 2014, 2014, Blois, France. 1 page. ⟨hal-01068125⟩

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