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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Reproducible process for titanium deep etching

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01057233

Soumis le : jeudi 21 août 2014-17:37:01

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:59

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01057233 , version 1 (21-08-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01057233 , version 1

Citer

Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Bertrand Boutaud, Remi Dussart. Reproducible process for titanium deep etching. 19th International Vacuum Conference, Sep 2013, Paris, France. ⟨hal-01057233⟩

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