Integrated microplasmas on silicon: performances and limitations

Remi Dussart (1) , Mukesh Kulsreshath (2) , Valentin Félix (2) , Lawrence J. Overzet (3) , Judith Golda (4) , V. Schulz-von Der Gathen (4) , Philippe Lefaucheux (2) , Thomas Tillocher (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
3 PAL - Plasma Application Laboratory
4 Institute for Applied Plasma Physics

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Remi Dussart, Mukesh Kulsreshath, Valentin Félix, Lawrence J. Overzet, Judith Golda, et al.. Integrated microplasmas on silicon: performances and limitations. 19th International Vacuum Conference, Sep 2013, Paris, France. ⟨hal-01056618⟩