Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2014
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01021943
Soumis le : jeudi 10 juillet 2014-03:23:27
Dernière modification le : jeudi 21 décembre 2023-09:04:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01021943 , version 1
- DOI : 10.1088/0963-0252/23/4/045012
Citer
Mukesh Kulsreshath, Judith Golda, V. Schulz-von Der Gathen, Remi Dussart. Width dependent interaction of trench-like microdischarges arranged in sub-arrays on a single silicon based chip. Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23, pp.045012. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045012⟩. ⟨hal-01021943⟩
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