Investigation of the thermal properties of thin solid materials at different temperature levels using a set of microresistors

Ali Assy 1 Séverine Gomès 1 Patrice Chantrenne 1 Nicolas Pavy 2 Jayalakshmi Parasuraman 2 Xavier Kleber 3 Philippe Basset 2
1 CETHIL - Centre de Thermique de Lyon
2 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
3 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
Keywords : Thermal diffusivity Thermal conductivity Contact metrology Microresistors "Thermal diffusivity" "Thermal conductivity" "Contact metrology" "Microresistors"
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Article dans une revue
Microelectronics Journal, Elsevier, 2014, 45 (5), p. 508-514. 〈10.1016/j.mejo.2013.08.006〉
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01019637
Contributeur : Laboratoire Cethil <>
Soumis le : lundi 7 juillet 2014 - 11:53:05
Dernière modification le : jeudi 13 septembre 2018 - 15:24:07

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Ali Assy, Séverine Gomès, Patrice Chantrenne, Nicolas Pavy, Jayalakshmi Parasuraman, et al.. Investigation of the thermal properties of thin solid materials at different temperature levels using a set of microresistors. Microelectronics Journal, Elsevier, 2014, 45 (5), p. 508-514. 〈10.1016/j.mejo.2013.08.006〉. 〈hal-01019637〉

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