Characterization of the thermal conductivity of insulating thin films by Scanning Thermal Microscopy

Séverine Gomès (1) , P. Newby (2) , B. Canut (2) , K. Termentzidis (1) , O. Marty (2) , Luc Frechette (3) , Patrice Chantrenne (1) , V. Aimez (4) , Jean-Marie Bluet (2) , Vladimir Lysenko (2)

1 CETHIL - Centre de Thermique de Lyon
2 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
3 CRN2 - Centre de Recherche en Nanofabrication et Nanocaractérisation
4 UdeS - Université de Sherbrooke

Domaines: Thermique [physics.class-ph]; Thermique [physics.class-ph]

Séverine Gomès, P. Newby, B. Canut, K. Termentzidis, O. Marty, et al.. Characterization of the thermal conductivity of insulating thin films by Scanning Thermal Microscopy. Microelectronics Journal, 2013, 44 (11), pp.1029-1034. ⟨10.1016/j.mejo.2012.07.006⟩. ⟨hal-01018078⟩