Alternative processes to silicon technology for organic and inorganic resonant microstructures: fabrication in view of energy harvesting - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Alternative processes to silicon technology for organic and inorganic resonant microstructures: fabrication in view of energy harvesting

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01001990

Soumis le : jeudi 5 juin 2014-13:14:19

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01001990 , version 1 (05-06-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01001990 , version 1

Citer

Hélène Debéda, Nouha Allouch, Hussein Nesser, Cédric Ayela, Isabelle Dufour, et al.. Alternative processes to silicon technology for organic and inorganic resonant microstructures: fabrication in view of energy harvesting. 4èmes Journées Nationales sur la Récupération et le Stockage d'Energie pour l'alimentation des microsystèmes autonomes (JNRSE'2014), 2014, France. 2 p. ⟨hal-01001990⟩

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