Symmetrical ESD protection for advanced CMOS technology dedicated to 100GHz RF application

P. Galy , T. Lim (1) , J. Bourgeat , J. Jimenez (2) , B. Heitz , D. Marin-Cudraz , P. Benech (3) , J.-M. Fournier (3)

1 LPMA - Laboratoire de Probabilités et Modèles Aléatoires
2 Departomento Tecnologia Electronice, ETSI de Telecomunicacion, Universitad Politecnica de Madrid, Spain
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

P. Galy, T. Lim, J. Bourgeat, J. Jimenez, B. Heitz, et al.. Symmetrical ESD protection for advanced CMOS technology dedicated to 100GHz RF application. ESREF 2013, Sep 2013, Arcachon, France. pp.1-4. ⟨hal-00997047⟩