Chapitre D'ouvrage
Année : 2010
Vincent Bouchiat : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00995938
Soumis le : dimanche 25 mai 2014-18:43:59
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:20:42
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00995938 , version 1
Citer
Vincent Bouchiat. Techniques Lithographiques par Microscopie à Sonde Locale. Stephan Landis. Techniques de Lithographie pour la micro−électronique, Hermes, pp.207-242, 2010, 9782746224469. ⟨hal-00995938⟩
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