Etude de l'influence de la pointe sur les mesures KFM sur échantillon d'AlGaAs/GaAs

Sylvain Pouch (1) , Nicolas Chevalier (1) , Denis Mariolle (1) , François Triozon (1) , Thierry Melin (2) , Lukasz Borowik (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

La microscopie à sonde de Kelvin (KFM) est capable de fournir une mesure résolue spatialement et en énergie de la structure de bande en surface d'un matériau. Elle dépend néanmoins fortement des propriétés physiques de la pointe utilisée, propriétés pouvant être la largeur de l'apex, la forme géométrique de la surpointe (nanocristal, nanofil) ou encore la raideur du levier. L'idée de ce travail est de comparer les résultats KFM obtenus sur un échantillon de calibration BAM-L200 [1] pour différentes pointes (Pointes conductrices avec ou sans nanocristaux, avec ou sans surpointe, pointes fines) et selon différentes préparations (Abrasion, chauffage).

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Sylvain Pouch, Nicolas Chevalier, Denis Mariolle, François Triozon, Thierry Melin, et al.. Etude de l'influence de la pointe sur les mesures KFM sur échantillon d'AlGaAs/GaAs. 17ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2014, Montauban, France. session 11, papier P-30, 175-176. ⟨hal-00974535⟩