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Autre Publication Scientifique Année : 2002

Setting of microtechnology tutorials using surface micromachining

Katell Kervella  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00963651

Soumis le : vendredi 21 mars 2014-16:17:56

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00963651 , version 1 (21-03-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00963651 , version 1

Citer

Anne-Claire Salaün, H.E. Kotb, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan, Nathalie . Coulon, et al.. Setting of microtechnology tutorials using surface micromachining. 2002. ⟨hal-00963651⟩

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