Deposition of thin films of Mg2Si1-xSnx solid solution by plasma-assisted co-sputtering.

Huy Le Quoc (1) , A. Lacoste (1) , Stéphane Béchu (1) , A. Bès (1) , Daniel Bourgault (2) , Daniel Fruchart (3)

1 LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
2 NEEL - TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
3 NEEL - MNM - Micro et NanoMagnétisme

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Huy Le Quoc, A. Lacoste, Stéphane Béchu, A. Bès, Daniel Bourgault, et al.. Deposition of thin films of Mg2Si1-xSnx solid solution by plasma-assisted co-sputtering.. Journal of Alloys and Compounds, 2012, 538, pp.73-78. ⟨10.1016/j.jallcom.2012.06.003⟩. ⟨hal-00961258⟩