(PE)ALD TaCN film nucleation and growth on TiNx: influence of nitrogen content - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

(PE)ALD TaCN film nucleation and growth on TiNx: influence of nitrogen content

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00949998

Soumis le : jeudi 20 février 2014-15:16:14

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00949998 , version 1 (20-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949998 , version 1

Citer

F. Piallat, R. Gassilloud, B. Pelissier, Cédric Leroux, P. Caubet, et al.. (PE)ALD TaCN film nucleation and growth on TiNx: influence of nitrogen content. 25th International Conference on Amorphous and Nano-crystalline Semiconductors, ICANS25, Aug 2013, Toronto, Canada. ⟨hal-00949998⟩

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