High temperature chemical vapor deposition of aluminum nitride, growth and evaluation
M. Pons
(1)
,
R. Boichot
(1)
,
N. Coudurier
(1)
,
A. Claudel
(2)
,
E. Blanquet
(1)
,
S. Lay
(1)
,
Florian Mercier
(3)
,
D. Pique
(2, 4)
M. Pons
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174847
- IdHAL : michel-pons
- ORCID : 0000-0002-5833-6063
- IdRef : 077856112
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739157
- IdHAL : elisabeth-blanquet
- ORCID : 0000-0001-6467-9110
- IdRef : 135652669
Florian Mercier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751148
- IdHAL : florian-mercier