Pulsed plasmas for nanoCMOS and nanoelectronics devices elaboration

E. Pargon (1) , G. Cunge (1) , Maxime Darnon (1) , L. Vallier (1) , P. Bodart (1) , C. Petit-Etienne (1) , M. Haass , O. Luere , M. Brihoum (1) , T. David (2) , T. Chevolleau (1) , O. Joubert (1)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

E. Pargon, G. Cunge, Maxime Darnon, L. Vallier, P. Bodart, et al.. Pulsed plasmas for nanoCMOS and nanoelectronics devices elaboration. 2nd International Conference on Plasma Nanoscience (iPlasma Nano-II), 2010, Bateman's Bay, Australia. ⟨hal-00944937⟩