Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00941606
Soumis le : mardi 4 février 2014-10:06:57
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00941606 , version 1
Citer
I. Gereige, D. Pietroy, J. Eid, C. Gourgon. Dimensional characterization of biperiodic imprinted structures using optical scatterometry. Microelectronic Engineering, 2013, 112, pp.27-30. ⟨hal-00941606⟩
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