New characterization methods for monitoring small resonant frequency variation. Application: Uncoated Silicon Microcantilever-based Sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

New characterization methods for monitoring small resonant frequency variation. Application: Uncoated Silicon Microcantilever-based Sensors

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00933254

Soumis le : lundi 20 janvier 2014-11:33:41

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:17

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00933254 , version 1 (20-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933254 , version 1

Citer

Mohand-Tayeb Boudjiet, Fabrice Mathieu, Liviu Nicu, Johan Bertrand, Claude Pellet, et al.. New characterization methods for monitoring small resonant frequency variation. Application: Uncoated Silicon Microcantilever-based Sensors. Journées nationales du GDR Micro Nano-Systèmes, 2013, Toulouse, France. ⟨hal-00933254⟩

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