Silicon nanowires based resistors as gas sensors

Fouad Demami (1) , Liang Ni (1) , Régis Rogel (2) , Anne-Claire Salaün (2) , Laurent Pichon (2)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Fouad Demami, Liang Ni, Régis Rogel, Anne-Claire Salaün, Laurent Pichon. Silicon nanowires based resistors as gas sensors. Sensors and Actuators B: Chemical, 2012, pp.158-162. ⟨hal-00921580⟩