Piezoelectric micro-transformer based on SOI structure

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Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2005, 117 (2), pp.317-324
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Contributeur : Dejan Vasic <>
Soumis le : mercredi 18 décembre 2013 - 09:25:05
Dernière modification le : jeudi 7 février 2019 - 14:48:51

Identifiants

  • HAL Id : hal-00920231, version 1

Citation

Dejan Vasic, Emmanuel Sarraute, François Costa, Patrick Sangouard, Eric Cattan. Piezoelectric micro-transformer based on SOI structure. Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2005, 117 (2), pp.317-324. 〈hal-00920231〉

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