A simple and inexpensive technique for PDMS/silicon chip alignment with sub-µm precision - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Analytical Methods Année : 2014
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Dates et versions

hal-00916286 , version 1 (10-12-2013)

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Citer

R. Sivakumarasamy, K. Nishiguchi, A. Fujiwra, Dominique Vuillaume, N. Clement. A simple and inexpensive technique for PDMS/silicon chip alignment with sub-µm precision. Analytical Methods, 2014, 6, pp.97-101. ⟨10.1039/c3ay41618f⟩. ⟨hal-00916286⟩
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