Real time control of the growth of silicon alloy multilayers by multiwavelength ellipsometry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 1996
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00915386 , version 1 (07-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00915386 , version 1

Citer

M. Kildemo, S. Deniau, Pavel Bulkin, Bernard Drévillon. Real time control of the growth of silicon alloy multilayers by multiwavelength ellipsometry. Thin Solid Films, 1996, pp.46-50. ⟨hal-00915386⟩
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