Article Dans Une Revue
Journal of Non-Crystalline Solids
Année : 1998
Pavel Bulkin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00915367
Soumis le : samedi 7 décembre 2013-16:14:43
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00915367 , version 1
Citer
Pavel Bulkin, P. L. Swart, B. M. Lacquet. Electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition and optical properties of SiOx thin films. Journal of Non-Crystalline Solids, 1998, pp.58-66. ⟨hal-00915367⟩
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